Im Bereich Oberflächentechnik steht eine Anlage zur physikalischen Gasphasenabscheidung mittels thermischen Verdampfens zur Verfügung. Die 50l-Anlage ist ausgerüstet mit zwei Verdampfern, einer Glimmeinrichtung, zwei Drehdurchführungen zum Probenhandling und einer in-situ Schichtdickenmessung.

Die Anlage ist geeignet insbesondere zur Herstellung insbesondere von metallischen Coatings auf vakuumfesten Grundmaterialien.