Rasterelektronenmikroskopie:
Hochauflösende Oberflächenanalytik

Anwendungsbeispiele:

Abbildung von hochvakuumstabilen

• Metalloberflächen
• Kunstoffoberflächen
• Keramik- und Glasoberflächen,
• Pulvern
• biologischen Proben
• Schliffoberflächen
• nichtleitfähiger Oberflächen nach Beschichtung mit Kohlenstoff oder Metallen bzw. bei sehr geringen Anregungsenergien

Gerätekonfiguration:

• Elektronenquelle: Schottky-Feldemitter
• Detektoren zur Abbildung von Materialkontrast und Topographiekontrast
• Auflösung bis zu 0,7 nm (probenabhängig)
• Präparationstechnik für nichtleitfähige Oberflächen:
  • Hochvakuum-Bedampfungsanlage für Kohlenstoff-Bedampfung,
  • Hochvakuum-Sputteranlage für Gold oder Platin,
  • Präparationstechnik Kritisch-Punkt-Trocknung (für biologische Proben und wasserhaltige Proben)