Forschungsbereich

Oberflächentechnik

Rasterelektronenmikroskopie

Anwendungsbeispiele:

Abbildung von hochvakuumstabilen

  • Metalloberflächen
  • Kunstoffoberflächen
  • Keramik- und Glasoberflächen,
  • Pulvern
  • biologischen Proben
  • Schliffoberflächen
  • nichtleitfähiger Oberflächen nach Beschichtung mit Kohlenstoff oder Metallen bzw. bei sehr geringen Anregungsenergien


Gerätekonfiguration:

  • Elektronenquelle: Schottky-Feldemitter
  • Detektoren zur Abbildung von Materialkontrast und Topographiekontrast
  • Auflösung bis zu 0,7 nm (probenabhängig)
  • Präparationstechnik für nichtleitfähige Oberflächen:
    • Hochvakuum-Bedampfungsanlage für Kohlenstoff-Bedampfung,
    • Hochvakuum-Sputteranlage für Gold oder Platin,
    • Präparationstechnik Kritisch-Punkt-Trocknung (für biologische Proben und wasserhaltige Proben)

Übersicht der Geräte

Hersteller:

Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH

Typ:

GeminiSEM 460 (2023)

 

Dr. Martina Schweder

Oberflächentechnik

E-Mail
Telefon: +49 3641 2825 26