Rasterelektronenmikroskopie
Anwendungsbeispiele:
Abbildung von hochvakuumstabilen
- Metalloberflächen
- Kunstoffoberflächen
- Keramik- und Glasoberflächen,
- Pulvern
- biologischen Proben
- Schliffoberflächen
- nichtleitfähiger Oberflächen nach Beschichtung mit Kohlenstoff oder Metallen bzw. bei sehr geringen Anregungsenergien
Gerätekonfiguration:
- Elektronenquelle: Schottky-Feldemitter
- Detektoren zur Abbildung von Materialkontrast und Topographiekontrast
- Auflösung bis zu 0,7 nm (probenabhängig)
- Präparationstechnik für nichtleitfähige Oberflächen:
- Hochvakuum-Bedampfungsanlage für Kohlenstoff-Bedampfung,
- Hochvakuum-Sputteranlage für Gold oder Platin,
- Präparationstechnik Kritisch-Punkt-Trocknung (für biologische Proben und wasserhaltige Proben)
Übersicht der Geräte
- 4-Punkt Widerstandsmessung
- Abriebfestigkeit
- Beflammungsanlagen
- CGME – Controlled Growth Mercury Electrode
- Digitalmikroskop
- Dynamisches Kontaktwinkelmessgerät und Tensiometer DCAT 21
- ECMC – Elektrochemische MiniCell
- EDX-Analyse
- Flächige Plasmaquellen
- Fluorieranlage
- FTIR-Sprektroskopie
- GDP-C
- Grauwertmessung
- Gravimetrischer Titrator – Alino®
- Härteprüfgerät
- Härte- und Mikrohärtemessung
- Infrarot-Thermometer (Pyrometer)
- Jetplasmen
- Konfokalmikroskop
- Kontaktwinkelmessgerät OCA 200
- Laborgalvanik
- Leitfähigkeitsmessung für NE-Metalle
- Lichtmikroskop Leica DMi8 C
- Mastersizer
- Optisches Emissionsspektrometer
- pH-Wert- und Leitfähigkeitsbestimmung
- Plasmapolymerisation
- Potentiostat / Galvanostat / ZRA
- Randwinkelmessgerät
- Rasterelektronenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskop(AFM)
- Rauigkeit
- Rheometer MCR 301
- Röntgenfluoreszenzgerät Fischerscope
- Röntgenphotoelektronenspektrometer XPS
- Scheinleitwert
- Schichtdickenmessgerät MiniTest 4100
- Schichtdickenmessgerät Quint Sonic
- Sol-Gel-Anlage
- Spektralellipsometer SE850
- Sputtertechnik
- Tastschnittgerät / Profilometer Alpha-Step D-600
- Tastschnittgerät / Profilometer PGI1200
- Thermisches Verdampfen
- Universalprüfmaschine
- UV/VIS Spektrometer
- Verschleißtest
Hersteller:
Carl Zeiss Microscopy Deutschland GmbH
Typ:
GeminiSEM 460 (2023)
Dr. Martina Schweder
Oberflächentechnik
E-Mail
Telefon: +49 3641 2825 26