Anwendungsbeispiele:

• Kontaktlose Untersuchung der Oberflächentopografie auf Oberflächen
  • Für empfindliche Schichten geeignet
• Bestimmung von Schichtdicken an präparierten Kanten > 10 nm
• 3D-Mappings zur Bestimmung von Welligkeiten und Rauheiten
• Erstellung und Auswertung von Oberflächenprofilen von Werkstücken

Gerätekonfiguration:

• Hochleistungs- LED-Lichtquelle (505 nm)

Vertikaler Feinversteller:

• Max. Messweg: 350 µm
• Min. Messrauschen: 1 nm (100x Vergrößerung)

X-/Y-Präzisions-Messtisch (motorisiert):

• Verfahrweg (x-y): 50 x 50 mm²
• Auflagefläche: 150 x 150 mm²
• Auflösung (x-y): 0,3 µm
• Belastbarkeit: 10 kg

Z-Achse (motorisiert):

• Verfahrweg (z): 70 mm
• Max. vertikaler Messbereich: 10 mm
• Auflösung (z): 0,02 µm
• Max. Probenhöhe: 70 mm
• Vergrößerungen: 10x, 20x, 50x, 100x
• Min. Messfeld: 160 x 160 µm²

HD Stitching:

Automatische Aufnahme und Kombination von bis zu 500 Einzelbildern zu einem großen Gesamtmessfeld

Shape Tracing:

Schnelle und robuste Messstrategie mit Oberflächenverfolgung für wellige Proben