Forschungsbereich

Oberflächentechnik

Konfokalmikroskop - MarSurf CM explorer

Anwendungsbeispiele:

  • Kontaktlose Untersuchung der Oberflächentopografie auf Oberflächen
    • Für empfindliche Schichten geeignet
  • Bestimmung von Schichtdicken an präparierten Kanten > 10 nm
  • 3D-Mappings zur Bestimmung von Welligkeiten und Rauheiten
  • Erstellung und Auswertung von Oberflächenprofilen von Werkstücken

 

Gerätekonfiguration:

  • Hochleistungs- LED-Lichtquelle (505 nm)

 

Vertikaler Feinversteller:

  • Max. Messweg: 350 µm
  • Min. Messrauschen: 1 nm (100x Vergrößerung)

 

X-/Y-Präzisions-Messtisch (motorisiert):

  • Verfahrweg (x-y): 50 x 50 mm²
  • Auflagefläche: 150 x 150 mm²
  • Auflösung (x-y): 0,3 µm
  • Belastbarkeit: 10 kg

 

Z-Achse (motorisiert):

  • Verfahrweg (z): 70 mm
  • Max. vertikaler Messbereich: 10 mm
  • Auflösung (z): 0,02 µm
  • Max. Probenhöhe: 70 mm
  • Vergrößerungen: 10x, 20x, 50x, 100x
  • Min. Messfeld: 160 x 160 µm²

 

HD Stitching:

Automatische Aufnahme und Kombination von bis zu 500 Einzelbildern zu einem großen Gesamtmessfeld

 

Shape Tracing:

Schnelle und robuste Messstrategie mit Oberflächenverfolgung für wellige Proben


Übersicht der Geräte

Hersteller:

MAHR GmbH

Typ:

MarSurf CM explorer

 

Ronny Köcher

Oberflächentechnik

E-Mail
Telefon: +49 3641 2825436