Forschungsbereich

Oberflächentechnik

Optisches Emissionsspektrometer

Anwendungsbeispiele:

  • spektrale Analyse von Plasmen, Flammen, Lichtsignalen
  • Bestimmung von emittierenden Spezies in Flammen und Plasmen (Prozessgase, Precursoren)
  • Plasmadiagnostik bei APCVD-Prozessen
  • Überwachung von Plasma- und Flammprozessen

 

Gerätekonfiguration:

Plasus EMICON MC

  • wavelength range: 200-1100 nm
  • spectral resolution: app. 1,5 nm
  • channels: 8
  • integration time:  1 ms – 10 s
     

Plasus EMICON HR

  • wavelength range: 200 – 860 nm
  • spectral resolution: 0,2 – 0,3 nm
  • channels: 1
  • integration time: 1 ms – 10 s

Übersicht der Geräte

Hersteller:

PLASUS GmbH

Typ:

Plasus EMICON MC und Plasus EMICON HR

Oliver Beier

Oberflächentechnik
Leiter AD-Plasma-Applikationslabor

E-Mail
Telefon: +49 3641 282517