Anwendungsbeispiele:

• spektrale Analyse von Plasmen, Flammen, Lichtsignalen
• Bestimmung von emittierenden Spezies in Flammen und Plasmen (Prozessgase, Precursoren)
• Plasmadiagnostik bei APCVD-Prozessen
• Überwachung von Plasma- und Flammprozessen

Gerätekonfiguration:

Plasus EMICON MC

• Wellenlängenbereich: 200-1100 nm
• Spektrale Auflösung: ca. 1,5 nm
• Kanäle: 8
• Integrationszeit:  1 ms – 10 s

Plasus EMICON HR

• Wellenlängenbereich: 200 – 860 nm
• Spektrale Auflösung: 0,2 – 0,3 nm
• Kanäle: 1
• Integrationszeit: 1 ms – 10 s