Anwendungsbeispiele:

• spektrale Analyse von Plasmen, Flammen, Lichtsignalen
• Bestimmung von emittierenden Spezies in Flammen und Plasmen (Prozessgase, Precursoren)
• Plasmadiagnostik bei APCVD-Prozessen
• Überwachung von Plasma- und Flammprozessen

Gerätekonfiguration:

Plasus EMICON MC

• wavelength range: 200-1100 nm
• spectral resolution: app. 1,5 nm
• channels: 8
• integration time:  1 ms – 10 s
   

Plasus EMICON HR

• wavelength range: 200 – 860 nm
• spectral resolution: 0,2 – 0,3 nm
• channels: 1
• integration time: 1 ms – 10 s