Forschungsbereich

Oberflächentechnik

Spektralellipsometer SE850

Anwendungsbeispiele:

  • Charakterisierung dünner Schichten auf glatten Oberflächen
  • Vermessung von Mischoxid-Schichten oder Schichtstapeln (z.B. SiO2-TiO2-SiO2-TiO2…)
  • Beobachtung von strukturellen Veränderungen in Schichten durch äußere Einflüsse (z.B. Tempern)


Gerätekonfiguration:

  • Spektralellipsometer SE850
  • Wellenlängenbereich: 350 – 2300 nm
  • step scan analysator Messprinzip
  • Simultanmessung im UV-Vis und NIR-Bereich
  • Mikrospot-Option mit Fokusdurchmesser von ca. 200µm
  • Software: SpectraRay II
  • Bestimmung der optischen Eigenschaften (Schichtdicken, Brechungsindizes, Absorptionskoeffizienten) von Schichten bzw. Schichtstapeln
  • Vielzahl von Modellen zur Simulation der Messdaten
  • Bestimmung von Rauhigkeiten oder Grenzflächen (Effective Medium Approximation)
  • Gradienten des Brechungsindex (linear, exponentiell, Gauß)

Übersicht der Geräte

Hersteller:

Sentech Instruments GmbH

Typ:

Spektralellipsometer SE850

 

Dr. Andreas Pfuch

Oberflächentechnik
Abteilungsleiter
Physikalische Technologien

E-Mail
Telefon: +49 3641 282554