Anwendungsbeispiele:

• Charakterisierung dünner Schichten auf glatten Oberflächen
• Vermessung von Mischoxid-Schichten oder Schichtstapeln (z.B. SiO2-TiO2-SiO2-TiO2…)
• Beobachtung von strukturellen Veränderungen in Schichten durch äußere Einflüsse (z.B. Tempern)

Gerätekonfiguration:

• Spektralellipsometer SE850
• Wellenlängenbereich: 350 – 2300 nm
• step scan analysator Messprinzip
• Simultanmessung im UV-Vis und NIR-Bereich
• Mikrospot-Option mit Fokusdurchmesser von ca. 200µm
• Software: SpectraRay II
• Bestimmung der optischen Eigenschaften (Schichtdicken, Brechungsindizes, Absorptionskoeffizienten) von Schichten bzw. Schichtstapeln
• Vielzahl von Modellen zur Simulation der Messdaten
• Bestimmung von Rauhigkeiten oder Grenzflächen (Effective Medium Approximation)
• Gradienten des Brechungsindex (linear, exponentiell, Gauß)