4-Punkt-Widerstandsmessung: Präzise Charakterisierung leitfähiger Schichten
Anwendungsbeispiele:
- Bestimmung des Flächenwiderstands R□ dünner Schichten
- Messung leitfähiger Schichten auf flachen und rehcteckigen Proben
- minimale Probengröße: 2 x 1 cm2
- Korrekturfaktoren für Berechnung des Flächenwiderstands sind softwaremäßig eingebettet
Gerätekonfiguration:
- NAGY SD-600 Sheet Resistivity Meter
- Widerstandsmessung von mΩ bis 200 kΩ
- Flächenwiderstand
- inklusive Kalibrierbox zur Kontrolle von Messgeräten Typ SD-600
