Forschungsbereich

Oberflächentechnik

4-Punkt Widerstandsmessung

Anwendungsbeispiele:

  • Bestimmung des Flächenwiderstands  R dünner Schichten
  • Messung leitfähiger Schichten auf flachen und rehcteckigen Proben
  • minimale Probengröße: 2 x 1 cm2
  • Korrekturfaktoren für Berechnung des Flächenwiderstands sind softwaremäßig eingebettet


Gerätekonfiguration:

  • NAGY SD-600 Sheet Resistivity Meter
  • Widerstandsmessung von mΩ bis 200 kΩ
  • Flächenwiderstand 
  • inklusive Kalibrierbox zur Kontrolle von Messgeräten Typ SD-600

Übersicht der Geräte

Hersteller:

NAGY

Typ:

NAGY SD-600 Sheet Resistivity Meter

 

Oliver Beier

Oberflächentechnik
Leiter AD-Plasma-Applikationslabor

E-Mail
Telefon: +49 3641 282561