Plasmapolymerisation
Die Plasmapolymerisation unter Vakuumbedingungen ist eine etablierte Methode zur Dünnschichtabscheidung. Bei Innovent steht ein System zur Plasmabeschichtung (Plasma Technology UK Ltd.) planarer Werkstücke (bis ca. 20 cm Durchmesser) zur Verfügung. Die Anlage ist gekennzeichnet durch eine kapazitive Elektrodenanordnung mit einer 13,56 MHz-Hochspannungsversorgung und dient hauptsächlich zur Herstellung dünner Siliziumdioxid-Schichten.
Übersicht der Geräte
- 4-Punkt Widerstandsmessung
- Abriebfestigkeit
- Beflammungsanlagen
- CGME – Controlled Growth Mercury Electrode
- Digitalmikroskop
- Dynamisches Kontaktwinkelmessgerät und Tensiometer DCAT 21 von DataPhysics
- ECMC – Elektrochemische MiniCell
- EDX-Analyse
- Flächige Plasmaquellen
- Fluorieranlage
- FTIR-Sprektroskopie
- GDP-C
- Gitterschnittprüfer
- Grauwertmessung
- Gravimetrischer Titrator – Alino®
- Härteprüfgerät
- Härte- und Mikrohärtemessung
- Infrarotkamera - Vario THERM
- Infrarot-Thermometer (Pyrometer)
- Jetplasmen
- Konfokalmikroskop
- Kontaktwinkelmessgerät OCA 15+ von DataPhysics
- Laborgalvanik
- Lackprüfgerät Ritzstichel
- Leitfähigkeitsmessung für NE-Metalle
- Lichtmikroskop Leica DMi8 C
- Mastersizer
- Optisches Emissionsspektrometer
- pH-Wert-Bestimmung
- pH-Wert- und Leitfähigkeitsbestimmung
- Plasmapolymerisation
- Potentiostat / Galvanostat / ZRA
- Randwinkelmessgerät
- Rasterelektronenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskop(AFM)
- Rauigkeit
- Rheometer MCR 301
- Rheometer MCR 502 TDR
- Ritzhärteprüfer RH3
- Röntgenfluoreszenzgerät Fischerscope
- Röntgenphotoelektronenspektrometer XPS
- Scheinleitwert
- Schichtdickenmessgerät MiniTest 4100
- Schichtdickenmessgerät Quint Sonic
- Sol-Gel-Anlage
- Spektralellipsometer SE850
- Sputtertechnik
- Tastschnittgerät / Profilometer Alpha-Step D-600
- Tastschnittgerät / Profilometer PGI1200
- Thermisches Verdampfen
- Universalprüfmaschine
- UV/VIS Spektrometer
- UV-VIS-Sprektoskopie
- Verschleißtest
- Videoextensiometer RTSS
- Xenonbogentest
- Zetapotentialmessung
Hersteller:
Plasma Technology UK Ltd
Dr. Andreas Pfuch
Oberflächentechnik
Abteilungsleiter
Physikalische Technologien
E-Mail
Telefon: +49 3641 282554