EDX-Analyse: Präzise Elementbestimmung im Mikrobereich

Anwendungsbeispiele:

• qualitative und quantitative Mikrobereichsanalyse hochvakuumstabiler Proben
• Informationstiefe 1-5 µm (probenabhängig)
• Analyse von
  • Schichten, Schichtaufbauten
  • Materialdefekten
  • Korrosionsprodukten
  • Einschlüssen

Gerätekonfiguration:

• SDD-Detektor mit 100 mm² Fläche
• Nachweis aller Elemente ab OZ 4 (Be)
• Qualitative und quantitative Elementanalyse
• Punkt- und Flächenanalysen, Linescans, Elementverteilungsbilder
• Präparationstechnik: Kohlenstoff-Bedampfungsanlage