EDX-Analyse
Anwendungsbeispiele:
- qualitative und quantitative Mikrobereichsanalyse hochvakuumstabiler Proben
- Informationstiefe 1-5 µm (probenabhängig)
- Analyse von
- Schichten, Schichtaufbauten
- Materialdefekten
- Korrosionsprodukten
- Einschlüssen
Gerätekonfiguration:
- SDD-Detektor mit 100 mm² Fläche
- Nachweis aller Elemente ab OZ 4 (Be)
- Qualitative und quantitative Elementanalyse
- Punkt- und Flächenanalysen, Linescans, Elementverteilungsbilder
- Präparationstechnik: Kohlenstoff-Bedampfungsanlage
Übersicht der Geräte
- 4-Punkt Widerstandsmessung
- Abriebfestigkeit
- Beflammungsanlagen
- CGME – Controlled Growth Mercury Electrode
- Digitalmikroskop
- Dynamisches Kontaktwinkelmessgerät und Tensiometer DCAT 21
- ECMC – Elektrochemische MiniCell
- EDX-Analyse
- Flächige Plasmaquellen
- Fluorieranlage
- FTIR-Sprektroskopie
- GDP-C
- Grauwertmessung
- Gravimetrischer Titrator – Alino®
- Härteprüfgerät
- Härte- und Mikrohärtemessung
- Infrarot-Thermometer (Pyrometer)
- Jetplasmen
- Konfokalmikroskop
- Kontaktwinkelmessgerät OCA 200
- Laborgalvanik
- Leitfähigkeitsmessung für NE-Metalle
- Lichtmikroskop Leica DMi8 C
- Mastersizer
- Optisches Emissionsspektrometer
- pH-Wert- und Leitfähigkeitsbestimmung
- Plasmapolymerisation
- Potentiostat / Galvanostat / ZRA
- Randwinkelmessgerät
- Rasterelektronenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskop(AFM)
- Rauigkeit
- Rheometer MCR 301
- Röntgenfluoreszenzgerät Fischerscope
- Röntgenphotoelektronenspektrometer XPS
- Scheinleitwert
- Schichtdickenmessgerät MiniTest 4100
- Schichtdickenmessgerät Quint Sonic
- Sol-Gel-Anlage
- Spektralellipsometer SE850
- Sputtertechnik
- Tastschnittgerät / Profilometer Alpha-Step D-600
- Tastschnittgerät / Profilometer PGI1200
- Thermisches Verdampfen
- Universalprüfmaschine
- UV/VIS Spektrometer
- Verschleißtest
Hersteller:
Oxford Instruments
Typ:
AZtecLive Advanced with UltimMax 100 (2023)
Dr. Martina Schweder
Oberflächentechnik
E-Mail
Telefon: +49 3641 2825 26
