Sputtertechnik
Im Bereich Oberflächentechnik stehen zwei selbst aufgebaute Sputteranlagen zur Verfügung. Beide Anlagen sind mit rotier- und heizbaren Substrathalteraufnahmen von 4“ Durchmesser zum Beschichten planarer Bauteile ausgerüstet. Komplexere 3D-Bauteile auf Anfrage!
Anlagenparameter:
- DC-Ansteuerungen mit bis zu 1kW Leistungseintrag
- R.f. Sputtern auf Anfrage
- Reaktives und nicht reaktives Sputtern möglich
- Substrattemperaturen bis ca. 700 °C
- Flansch und Ansteuerung zur Probenheizung und –rotation von Createc GmbH
- vorhandene Targets: Ag, Al, Al2O3, Au, Ca, Ca10(OH)2(PO4)6, CaSO4, Cr, C, Cu, CuZn39Pb2 (Messing), Fe, ITO, MO, Nb, NiCr20, Si, SiO2 (SQ1), Si3N4, Sn, Ta, Ti, TiO2, W, V, Zn, ZnSe, Zr
Übersicht der Geräte
- 4-Punkt Widerstandsmessung
- Abriebfestigkeit
- Beflammungsanlagen
- CGME – Controlled Growth Mercury Electrode
- Digitalmikroskop
- Dynamisches Kontaktwinkelmessgerät und Tensiometer DCAT 21
- ECMC – Elektrochemische MiniCell
- EDX-Analyse
- Flächige Plasmaquellen
- Fluorieranlage
- FTIR-Sprektroskopie
- GDP-C
- Grauwertmessung
- Gravimetrischer Titrator – Alino®
- Härteprüfgerät
- Härte- und Mikrohärtemessung
- Infrarot-Thermometer (Pyrometer)
- Jetplasmen
- Konfokalmikroskop
- Kontaktwinkelmessgerät OCA 200
- Laborgalvanik
- Leitfähigkeitsmessung für NE-Metalle
- Lichtmikroskop Leica DMi8 C
- Mastersizer
- Optisches Emissionsspektrometer
- pH-Wert- und Leitfähigkeitsbestimmung
- Plasmapolymerisation
- Potentiostat / Galvanostat / ZRA
- Randwinkelmessgerät
- Rasterelektronenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskop(AFM)
- Rauigkeit
- Rheometer MCR 301
- Röntgenfluoreszenzgerät Fischerscope
- Röntgenphotoelektronenspektrometer XPS
- Scheinleitwert
- Schichtdickenmessgerät MiniTest 4100
- Schichtdickenmessgerät Quint Sonic
- Sol-Gel-Anlage
- Spektralellipsometer SE850
- Sputtertechnik
- Tastschnittgerät / Profilometer Alpha-Step D-600
- Tastschnittgerät / Profilometer PGI1200
- Thermisches Verdampfen
- Universalprüfmaschine
- UV/VIS Spektrometer
- Verschleißtest
Dr. Andreas Pfuch
kommissarischer Bereichsleiter
Oberflächentechnik
E-Mail
Telefon: +49 3641 2825 54
