Beflammungsanlagen: Präzise Oberflächenaktivierung und Silikatisierung
Im Bereich Oberflächentechnik stehen mehrere Anlagen zur Beflammung von Substraten in unterschiedlichen Abmessungen, Beschaffenheit und Form zur Verfügung.

Anlage zur Beflammung von flachen Substraten bis 130 cm Breite
- undotierte Beflammung zur Oberflächenaktivierung
- dotierte Beflammung zur Pyrosil-Beschichtung (SiOx)
- flexibel einstellbare Parameter für breites Anwendungsspektrum

Anlage zur Rolle-zu-Rolle-Beflammung von Folien und Textilbahnen
- maximale Bahnbreite: 350 mm
- undotierte Beflammung zur Oberflächenaktivierung
- dotierte Beflammung zur Pyrosil-Beschichtung (SiOx)

Anlagen und Brenner zur Beflammung kleiner Substrate
- flexibel einsetzbare Anlagen
- Behandlungsbreite bis zu 400 mm
- Abscheidung verschiedener Materialien möglich
- heizbare Unterlage möglich (bis max. 600 °C)

Anlage zur r-CCVD-Abscheidung
- Behandlungsbreite bis zu 200 mm
- Abscheidung verschiedener Materialien möglich
- heizbare Unterlage möglich (bis max. 600 °C)

Handbeflammungsgeräte
- zur Abscheidung von Pyrosil
- für flexiblen und mobilen Einsatz
- für große Flächen und komplexe Geometrien
Precursordosiersysteme:
- STS (Sura Instruments)
- für Pyrosil
- Mikrodosierpumpen
- für Pyrosil, flüssige oder gelöste Precursoren für weitere Schichtmaterialien, Nanopartikeldispersionen
- Aerosolgeneratoren TOPAS ATM 200:
- für Pyrosil, flüssige oder gelöste Precursoren für weitere Schichtmaterialien, Nanopartikeldispersionen
- Bubbler:
- für verdampfbare Precursoren
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Dr. Daniel Leichnitz
Abteilungsleiter Chemische Oberflächentechnologie
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Telefon: +49 3641 2825 54

