Forschungsbereich

Oberflächentechnik


Im Bereich Oberflächentechnik stehen mehrere Anlagen zur Beflammung von Substraten in unterschiedlichen Abmessungen, Beschaffenheit und Form zur Verfügung.

 

Anlage zur Beflammung von flachen Substraten bis 130 cm Breite

  •   undotierte Beflammung zur Oberflächenaktivierung
  •   dotierte Beflammung zur Pyrosil-Beschichtung (SiOx)
  •   flexibel einstellbare Parameter für breites Anwendungsspektrum

Anlage zur Rolle-zu-Rolle-Beflammung von Folien und Textilbahnen

  •   maximale Bahnbreite: 350 mm
  •   undotierte Beflammung zur Oberflächenaktivierung
  •   dotierte Beflammung zur Pyrosil-Beschichtung (SiOx)

Anlagen und Brenner zur Beflammung kleiner Substrate

  •   flexibel einsetzbare Anlagen
  •   Behandlungsbreite bis zu 400 mm
  •   Abscheidung verschiedener Materialien möglich
  •   heizbare Unterlage möglich (bis max. 600 °C)

Anlage zur r-CCVD-Abscheidung

  •   Behandlungsbreite bis zu 200 mm
  •   Abscheidung verschiedener Materialien möglich
  •   heizbare Unterlage möglich (bis max. 600 °C)

Handbeflammungsgeräte

  •   zur Abscheidung von Pyrosil
  •   für flexiblen und mobilen Einsatz
  •   für große Flächen und komplexe Geometrien

Anlage für Versuche mit Wasserstoff-Sauerstoff-Flammen

  •   heiße Flammen (bis 2700 °C Flammentemperatur)
  •   Beschichtung kleinerer Flächen (einige cm²) durch Abrastern
  •   Abscheidung verschiedener Materialien möglich
  •   heizbare Unterlage (bis max. 600 °C)

Precursordosiersysteme:

  • STS (Sura Instruments)

- für Pyrosil

  • Mikrodosierpumpen

  - für Pyrosil, flüssige oder gelöste Precursoren für weitere Schichtmaterialien, Nanopartikeldispersionen

  • Aerosolgeneratoren TOPAS ATM 200:

  - für Pyrosil, flüssige oder gelöste Precursoren für weitere Schichtmaterialien, Nanopartikeldispersionen

  • Bubbler:

  - für verdampfbare Precursoren

 

Übersicht der Geräte

Dr. Andreas Pfuch

kommissarischer Bereichsleiter
Oberflächentechnik

E-Mail
Telefon: +49 3641 2825 54