Anlage zur Beflammung von flachen Substraten bis 130 cm Breite

•   undotierte Beflammung zur Oberflächenaktivierung
•   dotierte Beflammung zur Pyrosil-Beschichtung (SiOx)
•   flexibel einstellbare Parameter für breites Anwendungsspektrum

Anlage zur Rolle-zu-Rolle-Beflammung von Folien und Textilbahnen

•   maximale Bahnbreite: 350 mm
•   undotierte Beflammung zur Oberflächenaktivierung
•   dotierte Beflammung zur Pyrosil-Beschichtung (SiOx)

Anlagen und Brenner zur Beflammung kleiner Substrate

•   flexibel einsetzbare Anlagen
•   Behandlungsbreite bis zu 400 mm
•   Abscheidung verschiedener Materialien möglich
•   heizbare Unterlage möglich (bis max. 600 °C)

Anlage zur r-CCVD-Abscheidung

•   Behandlungsbreite bis zu 200 mm
•   Abscheidung verschiedener Materialien möglich
•   heizbare Unterlage möglich (bis max. 600 °C)

Handbeflammungsgeräte

•   zur Abscheidung von Pyrosil
•   für flexiblen und mobilen Einsatz
•   für große Flächen und komplexe Geometrien

Anlage für Versuche mit Wasserstoff-Sauerstoff-Flammen

•   heiße Flammen (bis 2700 °C Flammentemperatur)
•   Beschichtung kleinerer Flächen (einige cm²) durch Abrastern
•   Abscheidung verschiedener Materialien möglich
•   heizbare Unterlage (bis max. 600 °C)