Im Bereich Oberflächentechnik stehen mehrere Anlagen zur Beflammung von Substraten in unterschiedlichen Abmessungen, Beschaffenheit und Form zur Verfügung.
Anlage zur Beflammung von flachen Substraten bis 130 cm Breite
- undotierte Beflammung zur Oberflächenaktivierung
- dotierte Beflammung zur Pyrosil-Beschichtung (SiOx)
- flexibel einstellbare Parameter für breites Anwendungsspektrum
Anlage zur Rolle-zu-Rolle-Beflammung von Folien und Textilbahnen
- maximale Bahnbreite: 350 mm
- undotierte Beflammung zur Oberflächenaktivierung
- dotierte Beflammung zur Pyrosil-Beschichtung (SiOx)
Anlagen und Brenner zur Beflammung kleiner Substrate
- flexibel einsetzbare Anlagen
- Behandlungsbreite bis zu 400 mm
- Abscheidung verschiedener Materialien möglich
- heizbare Unterlage möglich (bis max. 600 °C)
Anlage zur r-CCVD-Abscheidung
- Behandlungsbreite bis zu 200 mm
- Abscheidung verschiedener Materialien möglich
- heizbare Unterlage möglich (bis max. 600 °C)
Handbeflammungsgeräte
- zur Abscheidung von Pyrosil
- für flexiblen und mobilen Einsatz
- für große Flächen und komplexe Geometrien
Anlage für Versuche mit Wasserstoff-Sauerstoff-Flammen
- heiße Flammen (bis 2700 °C Flammentemperatur)
- Beschichtung kleinerer Flächen (einige cm²) durch Abrastern
- Abscheidung verschiedener Materialien möglich
- heizbare Unterlage (bis max. 600 °C)
Precursordosiersysteme:
- STS (Sura Instruments)
- für Pyrosil
- Mikrodosierpumpen
- für Pyrosil, flüssige oder gelöste Precursoren für weitere Schichtmaterialien, Nanopartikeldispersionen
- Aerosolgeneratoren TOPAS ATM 200:
- für Pyrosil, flüssige oder gelöste Precursoren für weitere Schichtmaterialien, Nanopartikeldispersionen
- Bubbler:
- für verdampfbare Precursoren
Übersicht der Geräte
- 4-Punkt Widerstandsmessung
- Abriebfestigkeit
- Beflammungsanlagen
- CGME – Controlled Growth Mercury Electrode
- Digitalmikroskop
- Dynamisches Kontaktwinkelmessgerät und Tensiometer DCAT 21
- ECMC – Elektrochemische MiniCell
- EDX-Analyse
- Flächige Plasmaquellen
- Fluorieranlage
- FTIR-Sprektroskopie
- GDP-C
- Grauwertmessung
- Gravimetrischer Titrator – Alino®
- Härteprüfgerät
- Härte- und Mikrohärtemessung
- Infrarot-Thermometer (Pyrometer)
- Jetplasmen
- Konfokalmikroskop
- Kontaktwinkelmessgerät OCA 200
- Laborgalvanik
- Leitfähigkeitsmessung für NE-Metalle
- Lichtmikroskop Leica DMi8 C
- Mastersizer
- Optisches Emissionsspektrometer
- pH-Wert- und Leitfähigkeitsbestimmung
- Plasmapolymerisation
- Potentiostat / Galvanostat / ZRA
- Randwinkelmessgerät
- Rasterelektronenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskop(AFM)
- Rauigkeit
- Rheometer MCR 301
- Röntgenfluoreszenzgerät Fischerscope
- Röntgenphotoelektronenspektrometer XPS
- Scheinleitwert
- Schichtdickenmessgerät MiniTest 4100
- Schichtdickenmessgerät Quint Sonic
- Sol-Gel-Anlage
- Spektralellipsometer SE850
- Sputtertechnik
- Tastschnittgerät / Profilometer Alpha-Step D-600
- Tastschnittgerät / Profilometer PGI1200
- Thermisches Verdampfen
- Universalprüfmaschine
- UV/VIS Spektrometer
- Verschleißtest
Dr. Andreas Pfuch
kommissarischer Bereichsleiter
Oberflächentechnik
E-Mail
Telefon: +49 3641 2825 54