Anwendungsbeispiele:

• Untersuchung der Oberflächentopografie  auf Oberflächen
• Bestimmung von Schichtdicken an präparierten Kanten > 10 nm
• 3D-Mappings zur Bestimmung von Welligkeiten und Rauheiten
• Erstellung und Auswertung von Oberflächenprofilen von Werkstücken

Gerätekonfiguration:

• Messbereich vertikal: 0 – 1 200 µm
• Max. Scanlänge: 55 mm (200 mm mit Stitching)
• X-Y Verfahrweg: 150 x 178 mm²
• Kraftbereich: 0,03 – 10 mg
• Sample rate: bis 2000 Hz
• Zahl der Datenpunkte: bis 120 000 pro Profil
• Stufenhöhengenauigkeit < 0,6 nm
• Stylus- Messsitze 2 µm Radius/ 60 °
• Probentisch/ Vakuum-Spannvorrichtung mit 200 mm Durchmesser
• automatisierte Messungen an bis zu 99 Positionen