Im Bereich Oberflächentechnik stehen atmosphärische Jetplasmasysteme unterschiedlicher Hersteller zur Verfügung. Diese können neben der reinen Plasmaaktivierung auch zur Herstellung funktioneller Beschichtungen genutzt werden. Die zur Schichtherstellung notwendige Dosiertechnik (Verdampfer, Zerstäuber) ist vorhanden. Unterschiedliche Systeme zum Probenhandling (Rotation, x-y-Verfahreinheiten, Tisch-Roboter) erlauben eine flexible Bearbeitung der Proben oder Werkstücke.
 

Jetplasmasysteme:

• MEF - TIGRES GmbH, bis 500 W
• MEF Multi-Blaster - TIGRES GmbH, 14 Düsen auf 10 cm Behandlungsbreite, bis 2800 W
• CAT 600 - TIGRES GmbH, bis 600 W
• T-SPOT S3 - TIGRES GmbH, bis 500 W
• T-JET XW - TIGRES GmbH, 2 Plasmaköpfe mit je 7 cm Behandlungsbreite, ca. 600 W
• PFW 10 - Plasmatreat GmbH, Universal OpenAir-Plasmajet, ca. 1000 W
• Piezobrush PZ2 - relyon plasma GmbH, ca. 18 W
• Piezobrush PZ3 - relyon plasma GmbH, ca. 18 W
• kINPen 11 - neoplas tools GmbH, ca. 10 W

Dosiersysteme:

• 2x MFC-gesteuerte Precursordosieranlage STS 10 von Sura Instruments GmbH
• Ismatec-Schlauchpumpe und patentierte LARS-Zerstäubereinheit zur Dosierung von Flüssigprecursoren, Lösungen, Dispersionen oder Gemischen
• Verdampfer bis 250 °C zur Dosierung von verdampfbaren Flüssigprecursoren

Probenhandling:

• x-y Verfahreinheiten (Geschwindigkeit bis 500 mm/sec) von PASIM
• Tischroboter UR5 von Universal Robots
• Rotationsvorrichtungen zur Behandlung von rotationssymmetrischen Bauteilen
• Substratheizungen bis 300 °C (max. Substratgröße: A4) bzw. bis 500 °C (max. Substratgröße: 15 cm × 15 cm)