Jetplasmen
Im Bereich Oberflächentechnik stehen atmosphärische Jetplasmasysteme unterschiedlicher Hersteller zur Verfügung. Diese können neben der reinen Plasmaaktivierung auch zur Herstellung funktioneller Beschichtungen genutzt werden. Die zur Schichtherstellung notwendige Dosiertechnik (Verdampfer, Zerstäuber) ist vorhanden. Unterschiedliche Systeme zum Probenhandling (Rotation, x-y-Verfahreinheiten, Tisch-Roboter) erlauben eine flexible Bearbeitung der Proben oder Werkstücke.
Jetplasmasysteme:
- PlasmaBlaster MEF - TIGRES GmbH, bis 500W
- MEF Multi-Blaster - TIGRES GmbH, 14 Düsen auf 10 cm, Behandlungsbreite, bis 2800 W
- Plasma-Blaster Mini-MEF - TIGRES GmbH, bis 300 W
- PFW 10 - Plasmatreat GmbH, Universal OpenAir-Plasmajet, bis 1000 W
- Piezobrush PZ2 - relyon plasma GmbH, bis 18 W
- KinPen 11 - neoplas tools GmbH, bis 10 W
Dosiersysteme
- MFC-gesteuerte Precursordosieranlage STS10 von Sura Instruments
- Ismatec-Schlauchpumpe und patentierte LARS-Zerstäubereinheit zur Dosierung von Flüssigprecursoren
Probenhandling
- Verfahreinheiten von PASIM
- Tischroboter UR5 von Universal Robots
Übersicht der Geräte
- 4-Punkt Widerstandsmessung
- Abriebfestigkeit
- Beflammungsanlagen
- CGME – Controlled Growth Mercury Electrode
- Digitalmikroskop
- Dynamisches Kontaktwinkelmessgerät und Tensiometer DCAT 21 von DataPhysics
- ECMC – Elektrochemische MiniCell
- EDX-Analyse
- Flächige Plasmaquellen
- Fluorieranlage
- FTIR-Sprektroskopie
- GDP-C
- Gitterschnittprüfer
- Grauwertmessung
- Gravimetrischer Titrator – Alino®
- Härteprüfgerät
- Härte- und Mikrohärtemessung
- Infrarotkamera - Vario THERM
- Infrarot-Thermometer (Pyrometer)
- Jetplasmen
- Konfokalmikroskop
- Kontaktwinkelmessgerät OCA 15+ von DataPhysics
- Laborgalvanik
- Lackprüfgerät Ritzstichel
- Leitfähigkeitsmessung für NE-Metalle
- Lichtmikroskop Leica DMi8 C
- Mastersizer
- Optisches Emissionsspektrometer
- pH-Wert-Bestimmung
- pH-Wert- und Leitfähigkeitsbestimmung
- Plasmapolymerisation
- Potentiostat / Galvanostat / ZRA
- Randwinkelmessgerät
- Rasterelektronenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskop(AFM)
- Rauigkeit
- Rheometer MCR 301
- Rheometer MCR 502 TDR
- Ritzhärteprüfer RH3
- Röntgenfluoreszenzgerät Fischerscope
- Röntgenphotoelektronenspektrometer XPS
- Scheinleitwert
- Schichtdickenmessgerät MiniTest 4100
- Schichtdickenmessgerät Quint Sonic
- Sol-Gel-Anlage
- Spektralellipsometer SE850
- Sputtertechnik
- Tastschnittgerät / Profilometer Alpha-Step D-600
- Tastschnittgerät / Profilometer PGI1200
- Thermisches Verdampfen
- Universalprüfmaschine
- UV/VIS Spektrometer
- UV-VIS-Sprektoskopie
- Verschleißtest
- Videoextensiometer RTSS
- Xenonbogentest
- Zetapotentialmessung

Dr. Andreas Pfuch
Oberflächentechnik
Abteilungsleiter
Physikalische Technologien
E-Mail
Telefon: +49 3641 282554