Forschungsbereich

Oberflächentechnik

Jetplasmen

Im Bereich Oberflächentechnik stehen atmosphärische Jetplasmasysteme unterschiedlicher Hersteller zur Verfügung. Diese können neben der reinen Plasmaaktivierung auch zur Herstellung funktioneller Beschichtungen genutzt werden. Die zur Schichtherstellung notwendige Dosiertechnik (Verdampfer, Zerstäuber) ist vorhanden. Unterschiedliche Systeme zum Probenhandling (Rotation, x-y-Verfahreinheiten, Tisch-Roboter) erlauben eine flexible Bearbeitung der Proben oder Werkstücke.
 

Jetplasmasysteme:

  • PlasmaBlaster MEF - TIGRES GmbH, bis 500W
  • MEF Multi-Blaster - TIGRES GmbH, 14 Düsen auf 10 cm, Behandlungsbreite, bis 2800 W
  • Plasma-Blaster Mini-MEF - TIGRES GmbH, bis 300 W
  • PFW 10 - Plasmatreat GmbH, Universal OpenAir-Plasmajet, bis 1000 W
  • Piezobrush PZ2 - relyon plasma GmbH, bis 18 W
  • KinPen 11 - neoplas tools GmbH, bis 10 W

 

Dosiersysteme

  • MFC-gesteuerte Precursordosieranlage STS10 von Sura Instruments
  • Ismatec-Schlauchpumpe und patentierte LARS-Zerstäubereinheit zur Dosierung von Flüssigprecursoren

 

Probenhandling

  • Verfahreinheiten von PASIM
  • Tischroboter UR5 von Universal Robots

 


Übersicht der Geräte

Dr. Andreas Pfuch

Oberflächentechnik
Abteilungsleiter
Physikalische Technologien

E-Mail
Telefon: +49 3641 282554