Atmosphärendruckplasma-Applikationslabor: Atmosphärendruckplasma zur Aktivierung und Beschichtung
Im Bereich Oberflächentechnik stehen atmosphärische Plasmasysteme unterschiedlicher Hersteller zur Verfügung. Neben der reinen Plasmaaktivierung können diese auch zur Herstellung funktioneller Beschichtungen eingesetzt werden. Die dafür erforderliche Dosiertechnik wie Verdampfer, Zerstäuber und Pulverförderer ist vorhanden. Ergänzend ermöglichen verschiedene Systeme zum Probenhandling, beispielsweise Rotationsmodule, x-y-Verfahreinheiten und Tischroboter, eine flexible und reproduzierbare Bearbeitung von Proben und Werkstücken.
Überblick der gerätetechnischen Ausstattung unseres AD-Plasma-Applikationslabors
- MEF - TIGRES GmbH, bis 500 W
- MEF Multi-Blaster - TIGRES GmbH, 14 Düsen auf 10 cm Behandlungsbreite, bis 2800 W
- CAT 600 - TIGRES GmbH, bis 600 W
- T-SPOT S3 - TIGRES GmbH, bis 500 W
- T-JET XW - TIGRES GmbH, 2 Plasmaköpfe mit je 7 cm Behandlungsbreite, ca. 600 W
- PFW 10 - Plasmatreat GmbH, Universal OpenAir-Plasmajet, ca. 1000 W
- Dual Frequency Plasma Jet 3 – Nadir S.r.l, bis 100 W
- Piezobrush PZ2 - relyon plasma GmbH, ca. 18 W
- Piezobrush PZ3 - relyon plasma GmbH, ca. 18 W
- kINPen 11 - neoplas tools GmbH, ca. 10 W
- Corona-Vorbehandlungssystem - Ahlbrandt System GmbH, Behandlungsbreite bis 42 cm, schwenkbare Elektrodeneinheit mit 5 Keramik-Elektroden, max. Elektrodenabstand 6 mm, integriert in ein Sol-Gel-Beschichtungssystem
- Corona Panel Treater - Ahlbrandt System GmbH, Behandlungsbreite 50 cm, schwenkbare Elektrodeneinheit mit 4 Keramik-Elektroden, max. Elektrodenabstand 10 mm
- DCSBD-System RPS400 - roplass s.r.o., Plasmafläche 20 cm × 8 cm, bis zu 400 W
- MSDBD-System RPS30 multi-hollow - roplass s.r.o., Plasmafläche 2 cm × 2 cm, 30 W (Luft) bzw. 6 W (Argon)
- InoCoat IC3 Kaltplasmaspritzsystem von Inocon Technologie GmbH inkl. Pulver-Vibrationsförderer von MediCoat und InoFeed Pulverförderer von Inocon, bis 12 kW
Zubehör
- 2x MFC-gesteuerte Precursordosieranlage STS 10 von Sura Instruments GmbH
- 2x Aerosolgenerator ATM 220 von Topas GmbH
- Patentierte LARS-Zerstäubereinheit zur Dosierung von Flüssigprecursoren, Lösungen, Dispersionen oder Gemischen
- Verdampfer bis 250 °C zur Dosierung von verdampfbaren Flüssigprecursoren
- x-y Verfahreinheiten (Geschwindigkeit bis 500 mm/sec)
- Tischroboter UR5 von Universal Robots
- Rotationsvorrichtungen zur Behandlung von rotationssymmetrischen Bauteilen
- Substratheizungen bis 300 °C (max. Substratgröße: A4) bzw. bis 500 °C (max. Substratgröße: 15 cm × 15 cm)
- Reaktor zur automatisierten Pulverbehandlung mit dem DCSBD-Plasmasystem
- Optische Emissionsspektroskopie (OES) zur Plasmaanalyse und inline-Prozessüberwachung, 2x OES Spektrometer von PLASUS GmbH
