GDOES – Glimmentladungsspektroskopie: Präzise Elementtiefenprofilanalyse

Anwendungsbeispiele:

• Ultraschnelle Elementtiefenanalyse Methode
  • qualitative und quantitative Analyse der Elemente des Periodensystems, darunter z. B. Wasserstoff und Deuterium
  • Nachweisbereich 0,1 ppm - 100 at%
  • zerstörendes Verfahren mit mehreren µm Tiefe (Sputterraten bis zu 10 µm/min)
  • Analyse leitender und nichtleitender sowie sauerstoffempfindlicher Proben
• Substrate
  • Metall
  • Polymere
  • Glas

Gerätekonfiguration:

• gepulste RF-Quelle
• mehrere Polychromatoren und einen Monochromotor
• 4 mm Anode für plane Oberflächen und Elefantenanode für gekrümmte Oberflächen
• Lithiumglocke zur Analyse sauerstoffempfindlicher Proben
• Indium-Kit zur Analyse sehr kleiner Proben
• DIP (Differential Interferometry Profiling) zur Online-Tiefenmessung während der Elementanalyse
• Probenanforderungen:
  • leitende und nichtleitende plane oder gekrümmte Feststoffe
  • bevorzugte Größe: ca. 50 x 50 mm² bis 100 x 100 mm², Probenhöhe: leitende Proben ca. 60 mm; nichtleitende Proben 4 mm
  • besondere Anforderungen: sehr kleine Proben oder Pulver müssen vorher eingebettet werden (in Abstimmung)