GDOES – Glimmentladungsspektroskopie
Anwendungsbeispiele:
- Ultraschnelle Elementtiefenanalyse Methode
- qualitative und quantitative Analyse der Elemente des Periodensystems, darunter z. B. Wasserstoff und Deuterium
- Nachweisbereich 0,1 ppm - 100 at%
- zerstörendes Verfahren mit mehreren µm Tiefe (Sputterraten bis zu 10 µm/min)
- Analyse leitender und nichtleitender sowie sauerstoffempfindlicher Proben
- Substrate
- Metall
- Polymere
- Glas
Gerätekonfiguration:
- gepulste RF-Quelle
- mehrere Polychromatoren und einen Monochromotor
- 4 mm Anode für plane Oberflächen und Elefantenanode für gekrümmte Oberflächen
- Lithiumglocke zur Analyse sauerstoffempfindlicher Proben
- Indium-Kit zur Analyse sehr kleiner Proben
- DIP (Differential Interferometry Profiling) zur Online-Tiefenmessung während der Elementanalyse
- Probenanforderungen:
- leitende und nichtleitende plane oder gekrümmte Feststoffe
- bevorzugte Größe: ca. 50 x 50 mm² bis 100 x 100 mm², Probenhöhe: leitende Proben ca. 60 mm; nichtleitende Proben 4 mm
- besondere Anforderungen: sehr kleine Proben oder Pulver müssen vorher eingebettet werden (in Abstimmung)
Hersteller: Horiba GmbH
Typ: GD Profiler 2
Übersicht der Geräte
- 4-Punkt Widerstandsmessung
- Abriebfestigkeit
- Beflammungsanlagen
- CGME – Controlled Growth Mercury Electrode
- Digitalmikroskop
- Dynamisches Kontaktwinkelmessgerät und Tensiometer DCAT 21 von DataPhysics
- ECMC – Elektrochemische MiniCell
- EDX-Analyse
- Flächige Plasmaquellen
- Fluorieranlage
- FTIR-Sprektroskopie
- GDP-C
- Gitterschnittprüfer
- Grauwertmessung
- Gravimetrischer Titrator – Alino®
- Härteprüfgerät
- Härte- und Mikrohärtemessung
- Infrarotkamera - Vario THERM
- Infrarot-Thermometer (Pyrometer)
- Jetplasmen
- Konfokalmikroskop
- Kontaktwinkelmessgerät OCA 15+ von DataPhysics
- Laborgalvanik
- Lackprüfgerät Ritzstichel
- Leitfähigkeitsmessung für NE-Metalle
- Lichtmikroskop Leica DMi8 C
- Mastersizer
- Optisches Emissionsspektrometer
- pH-Wert-Bestimmung
- pH-Wert- und Leitfähigkeitsbestimmung
- Plasmapolymerisation
- Potentiostat / Galvanostat / ZRA
- Randwinkelmessgerät
- Rasterelektronenmikroskopie
- Rasterkraftmikroskop(AFM)
- Rauigkeit
- Rheometer MCR 301
- Rheometer MCR 502 TDR
- Ritzhärteprüfer RH3
- Röntgenfluoreszenzgerät Fischerscope
- Röntgenphotoelektronenspektrometer XPS
- Scheinleitwert
- Schichtdickenmessgerät MiniTest 4100
- Schichtdickenmessgerät Quint Sonic
- Sol-Gel-Anlage
- Spektralellipsometer SE850
- Sputtertechnik
- Tastschnittgerät / Profilometer Alpha-Step D-600
- Tastschnittgerät / Profilometer PGI1200
- Thermisches Verdampfen
- Universalprüfmaschine
- UV/VIS Spektrometer
- UV-VIS-Sprektoskopie
- Verschleißtest
- Videoextensiometer RTSS
- Xenonbogentest
- Zetapotentialmessung