Prismenkoppler dienen zur schnellen und exakten Bestimmung von Brechzahl und Dicke transparenter dünner Schichten. Probe und Prisma werden gegen den feststehenden Laserstrahl gedreht und die Intensität als Funktion der Winkelposition detektiert. Der Vorteil gegenüber konventionellen Ellipsometern ist, dass keine Vorkenntnis von Brechzahl oder Schichtdicke erforderlich ist.

Anwendungsbeispiele:

• Messung von Schichtdicke und Brechzahl von Schichtsystemen (Substrat mit Schicht)
• Bestimmung der Brechzahl von Substraten
• Vermessung dotierter Schichten mit kleinen Brechzahländerungen

Gerätekonfiguration:

• Typische Substratmaterialen sind beispielsweise Glass, Quarz, Saphir, GGG und Lithiumniobat mit Waferdurchmessern von 10 bis 200 mm und Waferdicken von 0,5 bis 5 mm
• Wellenlängen der Laser: 633 nm und 1550 nm
• Schichtdicken: 0.5 bis 25 µm (typ.)
• Brechungsindex der Schicht: 1.0 bis 2.5 (TE)
• Messfleck: kleiner als 1 mm²
• Automatische Berechnung von Schichtdicke und Brechungsindex

Weitere Informationen sind beim Hersteller zu finden:
www.metricon.com/model-2010-m-overview/