Sensortechnologie
Plasmabeschichtungen als Werkzeuge zur Oberflächenbehandlung sind heute aus vielen industriellen Prozessen nicht mehr wegzudenken. Eine Entwicklungsrichtung, deren Bedeutung in den letzten Jahren deutlich zunimmt, sind Plasmabeschichtungen unter Normaldruckbedingungen. Das Portfolio an Beschichtungen umfasst eine breite Palette, z.B. von rein organischen Plasmapolymer-Coatings über kohlenstoffartige Schichten bis hin zu siliziumorganischen Beschichtungen. Jedoch: Einer der derzeit bestehenden Nachteile der atmosphärischen Plasmabeschichtungstechnik (Atmospheric Pressure Plasma Chemical Vapour Deposition – APPCVD) liegt gerade in der Fokussierung insbesondere auf SiOx-basierte Schichtsysteme.
Ein weitaus größeres Spektrum neuer Anwendungen würde sich erschließen, wenn es gelingt, die Vorteile der APPCVD – Technik gegenüber bestehenden Niederdruckapplikationen (leichtere Prozessintegration, Verzicht auf Vakuumtechnik, kleinere und flexiblere Bauformen und damit geringere Reinraumkosten, ortsselektive Beschichtung) mit einer Erweiterung der möglichen anorganischen Schichtmaterialien zu verbinden. Erste Vorarbeiten am Beispiel sensorischer Schichten haben eine prinzipielle Machbarkeit aufgezeigt, allerdings bedarf es noch intensiver Forschungsarbeit, um solche sensorischen Schichten oder Schichtsysteme einer späteren wirtschaftlichen Verwertung zuführen zu können.
