Forschungsbereich

Oberflächentechnik

Plasmadiagnostik

Die Methode der optischen Emissionsspektroskopie (OES) basiert darauf, dass angeregte Atome eine für das jeweilige chemische Element charakteristische elektromagnetische Strahlung aussenden und somit Informationen über die Zusammensetzung von Plasmen liefern.

Die Abteilung Physikalische Technologien beschäftigt sich seit Jahren mit der Charakterisierung insbesondere von atmosphärischen Plasmen. In Kombination mit entsprechenden Methoden zur Analyse von Abgasen (FT-IR-Spektroskopie oder Gasmessgeräte, z.B. für O3, NO, NO2) und unter Verwendung von geeigneten Temperaturmessmethoden sind wir in der Lage, Neuentwicklungen im Bereich der Herstellung von Plasmaquellen analytisch zu begleiten. Ein weiteres Einsatzfeld liegt in der Charakterisierung von Verfahrensentwicklungen, die auf der Verwendung von PECVD-Prozessen basieren. Im Ergebnis derartiger Untersuchungen können in Abhängigkeit der gewählten Plasmaparameter verschiedene Aussagen zu Gastemperaturen und zur Effizienz von Plasmaprozessen getroffen werden.

Anwendungen

Beispiele für mögliche Anwendungen:

  • Analyse der Plasma- oder Flammenzusammensetzung
  • Optimierung von Plasmaprozessen mit Blick auf die chemische Umsetzung der eingesetzten Prozessgase
  • Optimierung von Plasmabeschichtungsprozessen mit Blick auf die chemische Umsetzung der eingesetzten Prozess- und Precursorgase

Dr. Andreas Pfuch

Oberflächentechnik
Abteilungsleiter
Physikalische Technologien

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Telefon: +49 3641 282554