Bei diesem Verfahren wird eine dielektrisch behinderte Hochfrequenzentladung gezündet, um Aktivierungen, aber auch Beschichtungen auf Oberflächen umsetzen zu können. Zwischen den beiden Planarelektroden befindet sich ein etwa einen Millimeter dickes Dielektrikum, welches als dielektrische Barriere dient. Auf diese Weise brennt das Plasma in Form vieler kleiner Funkenentladungen. Bringt man nun zwischen die beiden Elektroden, die sich in einem Abstand von ebenfalls nur weinigen Millimetern befinden, einen Gasstrom bzw. ein planares Werkstück ein, so kann man die Oberflächen des Werkstücks plasmaaktivieren. Industriell ist das Verfahren weit verbreitet zur Plasmaaktivierung von planaren Werkstoffen oder auch von Bahnware. Das Prinzip wird auch bei Ozonisatoren angewandt. Unter Verwendung von chemischen Vorläuferstoffen ist es möglich, planare Werkstoffe mit Beschichtungen zu versehen.

Bei INNOVENT stehen zwei DBD-Systeme zur Verfügung, eines zur flächigen Behandlung von Plattenware, ein anderes integriert in eine Sol-Gel-Beschichtungsanlage zur Vorbehandlung von Bahnware.