Prismenkoppler: Brechzahl und Dicke dünner Schichten schnell und präzise messen
Prismenkoppler dienen zur schnellen und sehr exakten Bestimmung von Brechzahl und Dicke dünner Schichten. Der Vorteil gegenüber konventionellen Ellipsometern ist, dass keine Vorkenntnis von Brechzahl oder Schichtdicke erforderlich ist.
Gerätekonfiguration:
- Wellenlängen der Laser: 633 nm, 1550 nm
- Automatische Berechnung von Schichtdicke und Brechungsindex
- Messfleck: kleiner als 1 mm²
Anwendungsbeispiele:
Das Schichtsystem bestehend aus Substrat und Schicht muss optisch transparent / teiltransparent sein. Typische Substratmaterialen sind beispielsweise Glass, Quarz, Saphir, GGG und Lithiumniobat mit Waferdurchmessern von 10 bis 200 mm und Waferdicken von 0,5 bis 5 mm.
- Schichtdicken: 0.5 bis 25 µm (typ.)
- Brechungsindex der Schicht: 1.0 bis 2.5 (TE)
