Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop
SUPRA 55 VP (Carl Zeiss NTS GmbH, Oberkochen)
Querschnitt eines durch einen Sputterprozess auf einem
Substat abgeschiedenen Mehrschichtsystems
Messmodi
- Hochvakuum-Modus
- VP-Modus (Druckbereich 2 bis 133 Pa)
Detektoren zur Bilderfassung
- InLens-SE-Detektor (HV-Modus)
- Everhard-Thornley-SE-Detektor (HV-Modus)
- 4 Quadranten-BSE-Detektor (HV- und VP-Modus)
- VPSE-Detektor (VP-Modus)
- STEM-Detektor mit Hellfeld- und Dunkelfeld-Modus
EDX-Analyse-System Quantax mit Si(Li)-Detektor (Röntec GmbH, Berlin)
- Nachweis aller Elemente ab OZ 5 (Bor)
- Qualitative und quantitative Mikrobereichsanalyse
- Linescans, Elementverteilungsbilder
Präparationstechnik
- Gold-Sputter-Anlage
- Kohlenstoff-Bedampfungsanlage
- Kritisch-Punkt-Trocknungs-Anlage