Profilometrie
Innovent verfügt über zwei Tastschnittgeräte, mit denen Oberflächenprofile von Werkstücken erstellt werden können. Bei gezielter Kantenpräparation können mit den Geräten auch Schichtdicken bestimmt werden.
Das Dektak 3ST der Firma Veeco ist in der Lage, einzelne, maximal 50mm lange linescans auf planaren Proben abzufahren. Die Höhe der zu vermessenden Werkstücke sollte 3cm nicht überschreiten. Gekrümmte Oberflächen können mit diesem Gerät nicht vermessen werden, der maximale Messbereich in z-Richtung beträgt 0,12mm. Die theoretische Auflösung in der höchsten Genauigkeitsstufe liegt bei unter 1 Angström.
Mit Blick auf die Vermessung größerer und/oder gekrümmter Oberflächen steht ein PGI1200 der Firma Taylor-Hobson zur Verfügung, welches 3D-Topographien abbilden kann. Die maximale Scanlänge in x-Richtung beträgt in diesem Fall 200mm (in y-Richtung 50mm), durch die vorhandene 45cm hohe Säule können auch dickere Proben vermessen werden. Der Messbereich in z-Richtung liegt bei 12,5mm (60mm-Taster) bei einer Auflösung von 8 Angström. Für die Datenauswertung stehen die Ultra Software zur Berechnung von Form und Rauheit, die Ultra-Form-Analyse-Software (Anpassung der Messdaten an Abs.-radius, bestpassendsten Radius und Gerade) und die Talymap Gold 3D software zur Verfügung.
