Ellipsometer
Mit dem Spektralellipsometer SE850 aus der Produktgruppe SENresearch der Firma SENTECH Instruments GmbH steht Innovent ein leistungsfähiges Werkzeug zur optischen Charakterisierung dünner transparenter Schichten im UV-VIS und NIR-Bereich zur Verfügung. Mit diesem Gerät können Brechungsindizes und Absorptionskoeffizienten von dünnen Schichten und Schichtsystemen in einem Wellenlängenbereich von 350 bis 820 nm, in Kombination mit dem vorhandenen FT-IR-Spektrometer auch bis 2300 nm, sowie deren Schichtdicken bestimmt werden. Die Größe des Lichtflecks auf der Probe kann durch die Microspot-Option im Sichtbaren auf 200 µm Durchmesser begrenzt werden.
Das SE850 arbeitet nach dem Step-Scan Analysator Prinzip und bietet zusammen mit dem Diodenarray Detektor höchste Messempfindlichkeit.
Die Software SPECTRARAY II ermöglicht eine umfangreiche Analyse der Schichten:
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Dicke von Einzelschichten und Schichtstapeln
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Bestimmung von optischen Konstanten
- Bestimmung von Rauheiten oder Grenzflächen (Effektive-Medien-Theorie)
- Gradienten des Brechungsindex
Anwendungsbeispiel
Die Abbildung zeigt die gemessenen Delta- und Psi-Werte über der Wellenlänge zusammen mit den Resultaten einer Fitprozedur, welche auf der Basis eines Schichtmodells erstellt wurde. Der vermessene TiO2-SiO2-Si-Schichtstapel konnte somit mit den in der Tabelle angeführten Parametern angefittet werden.
