Dünnschichttechnik – Plasmagestützte chemische Gasphasenabscheidung, Plasmapolymerisation
Grundlagen
Die Plasmapolymerisation ist ein Verfahren der chemischen Gasphasenabscheidung, bei dem mit Hilfe eines Hochfrequenzplasmas chemische Ausgangsverbindungen reaktiv und dabei schichtbildend umgesetzt werden. Der für die chemische Umsetzung nötige Energieeintrag erfolgt dabei vorwiegend über hochenergetische Elektronen des Plasmas, so daß die Temperaturbelastung der zu behandelnden Proben gering ist. Die rf-Einkopplung erfolgt kapazititv durch zwei Elektrodenplatten, wobei die eine gleichzeitig zur Substrataufnahme dient. Bevorzugt behandelt werden können deshalb planare Substrate bis 20cm Durchmesser, voluminöse Proben nur nach Absprache.
Die abgeschiedenen funktionellen Schichten bzw. auch die Plasmaeinwirkung allein können unterschiedliche Eigenschaften wie hydrophobierende oder hydrophiliserende, Kratzfestigkeit oder haftvermittelnde Wirkungen bewirken.
Alternative PACVD-Beschichtungen unter Normaldruck, neben der Flammenpyrolyse, und die Erweiterung der Palette an Materialien, welche als Dünnschichten abgeschieden werden können, sind aktueller Forschungsgegenstand.
Beispiele für mögliche Anwendungen
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Hydrophilisierende Beschichtungen zum Beispiel auf harten Kontaktlinsen für eine erhöhte Benetzbarkeit oder auf Kunststoffmembranen für medizinische Anwendungen
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Kratzschutzschichten auf empfindlichen Oberflächen
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Barriereschichten, Diffusionssperrschichten auf Kunststofffolien
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Schichtabscheidungen, die Verklebungen hydrophober Materialien wie zum Beispiel PTFE (Teflon) ermöglichen
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Isolationsschichten für elektronische Bauelemente
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Antihaftschichten auf Elastomeren
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funktionelle Beschichtungen auf Slides für biomedizinische Entwicklungen
unbehandeltes und hydrophil beschichtetes Kontaktlinsenmaterial