Röntgen-Photoelektronenspektroskopie - XPS / Elektronenspektroskopie für die Chemische Analyse - ESCA
Röntgen-Photoelektronenspektrometer: Theta Probe (Thermo VG Scientific)
- Monochromatische Röntgenquelle Al Kα: 1468.68 eV
- variable Anregungsfläche:
400 - 15 µm Durchmesser - Hemisphärischer Analysator
- Quadrupollinsensystem (winkelintegrierte und winkelabhängige Spektroskopie)
- 2D-Detektor (multiple Energie- und Winkelkanäle verfügbar)
- Elektronenkanone (niederenergetische Elektronen: 0.5 - 14 eV)
- Edelgasionenkanone (0.1 - 5.0 KeV)
- Optisches Positioniersystem
Oberflächenanalytische Methode auf Grundlage des photoelektrischen Effekts
- qualitative und quantitative Elementanalyse (Z ≥ 3)
- Bestimmung chemischer Zustände (Oxidationszustände)
- Nachweisgrenzen elementabhängig 0.1-1 Atom-%
- Informationstiefe bis ca. 10 nm
- Elementverteilungsbilder
- Linienprofile (Elementoberflächenkonzentrationen)
- Tiefenprofile: zerstörungsfrei bis 10 nm durch winkelabhängige Messungen, zerstörend bis mehrere 100 nm durch Ionenätzen
Probenanforderungen
- UHV-tauglich
- Feststoffe (auch Pulver) elektrisch leitend und nichtleitend
- max. 70x70x25 mm3 für Spektroskopiemessungen
- max. 28 mm Durchmesser oder Diagonallänge und 20 mm Höhe für Tiefenprofile durch Ionenätzen
Kontakt
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Herr Dr. R. Linke
Tel. 03641 282525