Dünnschichttechnik - Plasmaaktivierung
Grundlagen
Bei der Plasmaaktivierung können verschiedenste Proben, vornehmlich jedoch Kunststoffe, einem Niederdruckplasma unterschiedlicher Gaszusammensetzung ausgesetzt werden, was im allgemeinen eine Reinigung der Oberfläche, eine Aufrauhung der Oberfläche und eine Änderung der Oberflächenenergie zur Folge hat. Zusätzlich werden funktionelle Gruppen an den Oberflächen gebildet, deren funktioneller Charakter durch Auswahl der Prozessgase beeinflusst werden kann. Dies ermöglicht es, eine gezielte nachgeschaltete „Chemie" an den Oberflächen durchführen zu können und für bestimmte Anwendungen gezielt modifizierte Oberflächen zu schaffen.
Zur Plasmaaktivierung stehen zwei Anlagen mit unterschiedlichen Arten der Anregung (rf- und Mikrowellenanregung) zur Verfügung. Die Probengröße ist auf etwa 15cm im Durchmesser begrenzt.
Beispiele für mögliche Anwendungen
- Bereitstellung hydrophiler Oberflächen zum Beispiel für Kunststoffmembranen für medizinische Anwendungen
- Oberflächenaktivierungen von Kunststoffen für nachfolgende Beschriftungen oder Lackierungen
- Oberflächenfeinreinigung im oxidierenden Plasma
- Plasmasterilisation
