INNOVENT - Technologieentwicklung Jena

Beugungsmodell Kirchhoff-Näherung

Je nach Aufgabenstellung können Streulichtverteilungen bzw. Beugungseffizienzen in Transmission oder Reflexion berechnet werden. Zur Simulation des Streulichtverhaltens können Oberflächenprofile mit definierten Rauheitsparametern (vgl. Rauhigkeitsanalyse) und/oder definierter Mikrogeometrie (vgl. ) künstlich generiert oder gemessene Profile (z.B. Tastschnittmessung) als Eingangsdatensätze genutzt werden. Die Parameter der Streugeometrie (z.B. Wellenlänge des Lichts, Einfallswinkel, Brechungsindex) sind in einem großen Bereich frei wählbar. Das Kirchhoffsche Beugungsintegral kann numerisch (Strahlenansatz) oder teilanalytisch (Facettenansatz) berechnet werden. Abschattungs- und Mehrfachstreueffekte werden wahlweise berücksichtigt. Der Streuwinkelbereich, in dem die Intensitätsverteilung berechnet werden soll, kann beliebig vorgegeben werden.
Zur Berechnung des räumlichen Streuverhaltens von dreidimensionalen Mikrostrukturen kann man ebenfalls zwischen einem Strahlenmodell und einem Facettenmodell wählen.  Beide Ansätze beruhen auf der vektoriellen Kirchhoff- Näherung. Somit ist es möglich, out-off-plane- Streulichtverteilungen zu berechnen und den Einfluss von Bearbeitungsfehlern bei Mikrostrukturen (wie z.B. lips) zu untersuchen.